電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
采用智能壓力調(diào)控，沉積壓力波動(dòng)小；
全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；
| 參數(shù)\型號(hào) | CVI-0305-C | CVI-0608-C | CVI-0612-C | CVI-0812-C | CVI-0817-C | CVI-1120-C | CVI-1320-C | CVI-1520-C |
| 工作區(qū)尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 800×1700 | 1100×2000 | 1300×2000 | 1500×2000 |
| 最高溫度（℃） | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：立式-上出料/下出料
爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC
熱電偶：C/S分度號(hào)
電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)
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